瓶裝三氯化硼,化學(xué)式BCl3。無(wú)色液體;熔點(diǎn)-107.3℃,沸點(diǎn)12.5℃,密度1.349克/厘米3(11℃);易水解生成硼酸和氯化氫。它也是強的電子對受體,容易與各種給電子基團形成配位化合物。
三氯化硼溶液,不可燃、酸性氣味。遇水分解生成氯化氫和硼酸,并放出大量熱量,在濕空氣中因水解而生成煙霧,在醇中分解為鹽酸和硼酸酯。
高純三氯化硼?用作硅和鍺外延、擴散和離子注入過(guò)程的P型摻雜源。用于光導纖維、藥品和耐熱涂料的制造。還可用作鋁的氣相刻蝕劑。制造IMDRAM需用三氯化硼,可提高集成電路產(chǎn)率。