液態(tài)氬氣廣泛應用于焊接、不銹鋼制造、冶煉,還用于半導體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長(cháng)、熱氧化、外延、離子注入、載流、燒結等。用作ICP,氣相色譜儀等儀器的載氣,標準氣、平衡氣等。
高純液氬是沸點(diǎn)在氧氣和氮氣之間的一種氣體,空氣中就存在不到百分之一的氬氣,處于空氣分離裝置的中間部分,在將氧氣和氮氣分離出來(lái)的同時(shí),將氬氣抽出,進(jìn)行下一步的提純,得到高純液氬,也可以生產(chǎn)出其他氬副產(chǎn)品。
工業(yè)液氬用于焊接,不銹鋼制造,冶煉以及半導體工業(yè)中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長(cháng)、熱氧化、外延擴散、多晶硅離子注入載流燒結。
罐裝液氬無(wú)色、無(wú)味、無(wú)臭的惰性氣體,化學(xué)性質(zhì)極不活潑。在21.1℃和101. 3kPa下氣體相對密度1.38。氣體密度1- 650kg.m-3 (21.1℃,101. 3kPa),液體密度1394.Okg.m-3(一185.9℃,101. 3kPa)。沸點(diǎn)- 185.9℃。熔點(diǎn)-189.2℃。